Новые поступления (книга в стадии обработки) Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме [Текст] : научное издание / Ю. З. Бубнов [и др.]. - М. : Сов. радио, 1975. - 161 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 153-159 (133 назв.). - 0.49 р.
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): ПРЕПАРИРОВАНИЕ -- ИНЖЕНЕРНЫЕ РАСЧЕТЫ -- ЗАВИСИМОСТИ -- ПРЕПАРИРОВАНИЕ КОНДЕНСАТОРОВ -- ГАЗОДИНАМИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ -- КОНДЕНСАТЫ Аннотация: Изложены теоретические основы метода препарирования конденсатов в квазизамкнутом объеме; дана методология инженерных расчетов, приведены экспериментальные зависимости структуры, состава и электрофизических характеристик конденсатов от условий их формирования. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Бубнов, Ю. З. Лурье, М. С. Старос, Ф. Г. Филаретов, Г. А. |