Новые поступления (книга в стадии обработки)
   
    Практикум по химии и технологии полупроводников [Текст] : учеб. пособие / под ред. Я. А. Угая. - М. : Высшая школа, 1978. - 191 с. : ил. ; 21 см. - 0.45 р.
Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учеб. пособия для студ. хим. спец. высш. учеб. заведений
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Полупроводники

Кл.слова (ненормированные):
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ -- ПОСТРОЕНИЕ ДИАГРАММ -- ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ -- ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ОКИСЛЕНИЕ КРЕМНИЯ -- ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
Аннотация: В практикуме описаны лабораторные работы по химии и технологии полупроводников. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химического исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построение Р-Т-х-диаграмм, методы микроструктурного анализа и миктотвердости, различных методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полупроводниковых соединений, а также знакомит с основными технологическими операциями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление).
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Угай, Я. А.