Новые поступления (книга в стадии обработки) Данилин, Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1972. - 256 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 245-254. - 0.89 р.
Рубрики: Электроника--Электровакуумные приборы Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- КОНДЕНСАТОРЫ -- МИКРОСХЕМЫ Аннотация: В книге рассмотрены области применения тонких пленок в производстве интегральных схем, взаимодействие остаточной среды с пленками в процессе их формирования. аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, пути улучшения параметров установок и повышения их производительности. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Нилендер, Р.А. |