Новые поступления (книга в стадии обработки) Федоров, Л. П. Производство полупроводниковых приборов [Текст] : научное издание / Л. П. Федоров, В. М. Багров, Ю. Н. Тихонов ; под общ. ред. Л. А. Петрова. - М. : Энергия, 1979. - 432 с. : ил., граф., табл. ; 20 см. - Библиогр.: с. 426-428 (57 назв.). - 1.60 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ -- ГИГИЕНА ПРОИЗВОДСТВА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ ПРОИЗВОДСТВО -- СБОРКА ПРИБОРОВ Аннотация: В книге приводятся сведения о способах и особенностях производства полупроводниковых приборов. Даны сведения о продукции полупроводниковых предприятий, основах технологической подготовки производства. Приведены необходимые сведения о применяемых материалах, типовых технологических процессах, технологической гигиене, технике безопасности. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Багров, В. М. Тихонов, Ю. Н. Петров, Л. А. |