Новые поступления (книга в стадии обработки) Курносов, А. И. Технология и оборудование производства полупроводниковых приборов [Текст] : учебник / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 2-е изд., перераб. и доп. - Л. : Изд-во "Судостроение", 1971. - 264 с. : ил., граф., табл., черт. ; 21 см. - Библиогр.: с. 261 (12 назв.). - 0.78 р. Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учебника для техникумов электрон. пром-сти
Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- МЕТОДЫ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА -- ЗАЩИТА ПОВЕРХНОСТИ -- ИСПЫТАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Аннотация: В книге изложена технология изготовления полупроводниковых приборов; конденсация в вакууме, элионика, фотолитография; описываются процессы защиты поверхности; дается методика измерений параметров, испытаний и оценки надежности полупроводниковых приборов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Юдин, В. В. |