Новые поступления (книга в стадии обработки) Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [Текст] : учеб. пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. - 283 с. : ил. ; 22 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.). - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 395.16 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Нанотехнологии Физика--Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ -- КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ Аннотация: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных упьтрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля н диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем н микромеханики. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Данилкин, Е. В. Мочалов, А. И. Тимошенков, С. П. |