Новые поступления (книга в стадии обработки) Гуляев, Ю. В. Эффективность использования мощности в установках СВЧ вакуумно-плазменной обработки структур микроэлектроники [Текст] / Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров ; Ин-т Радиотехники и Электроники. - М. : [б. и.], 1989. - 53 с. : ил. ; 19 см. - Библиогр.: с. 52 (15 назв.)
Рубрики: Радиотехника--СВЧ техника Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ВАКУУМИРОВАНИЕ -- СВЧ ДИАПАЗОНА -- МИКРОВОЛНОВАЯ ПЛАЗМА Аннотация: Рассмотрены вопросы использования мощности в установках СВЧ вакуумно-плазменной обработки структур микроэлектроники. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Яфаров, Р. К. |