Новые поступления (книга в стадии обработки) Моряков, О. С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : учебник / О. С. Моряков. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1976. - 319 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 316 (10 назв.). - 0.65 р. Гриф: одобрено Учен. советом при Гос. комитете Совета Министров СССР по проф.-техн. образованию в качестве учебника для сред. проф.-техн. училищ
Рубрики: Электроника--Электронные приборы Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ ГИГИЕНА -- ОЧИСТКА ГАЗОВ -- ОПТИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ Аннотация: В книге приведены сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов, описаны устройство, принцип действия, правила эксплуатации и наладки, а также даны технические характеристики технологического оборудования. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |