Новые поступления (книга в стадии обработки) Электроника [Текст] : сб. науч. тр. / Всесоюз. ин-т науч. и техн. информ. (Москва); гл. ред. А. И. Михайлов. - М. : ВИНИТИ, 1966 - . - (Итоги науки и техники). Т. 19. - 1987. - 153 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце ст. - Б. ц.
Рубрики: Электроника--Радиоэлектроника Кл.слова (ненормированные): МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ -- АКУСТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА -- НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА Аннотация: Рассмотрены вопросы затухания и возбуждения магнитостатических волн, функциональные устройства на основе акустоэлектронного взаимодействия, сверхбольшие интегральные микросхемы, тестовые структуры и применение низкотемпературной плазмы в производстве интегральных микросхем. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Михайлов, А. И. \\гл. ред.\\ |