Новые поступления (книга в стадии обработки) Холлэнд, Л. Нанесение тонких пленок в вакууме [Текст] : монография / Л. Холлэнд ; пер. с англ. Н. В. Васильченко. - М. ; Л. : Госэнергоиздат, 1963. - 607 с. : ил. ; 20 см. - 40.00 р.
Рубрики: Обработка материалов--Нанесение покрытий Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА -- ИСПАРЕНИЕ Аннотация: Книга представляет собой монографию, в которой подробно обобщены и систематизированы методы нанесения покрытий в вакууме: изготовление тонких пленок посредством испарения в вакууме и катодное распыление. Рассмотрены вопросы формирования структуры и физические свойства тонких пленок. Большое внимание уделено описанию применяемой аппаратуры. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Васильченко, Н. В. |