Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи [и др.] ; пер. с англ. В. Н. Лейкина. - М. : Мир, 1986. Кн. 2. - 1986. - 453 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 437-438. - 2.30 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- БИПОЛЯРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ Аннотация: В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС, методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Зи, С. \\ред.\\ Лейкин, В. Н. \\пер.\\ Чистяков, Ю. Д. \\ред.\\ Петров, В. Б. \\ред.\\ Эйдельман, Б. Л. \\ред.\\ |