Новые поступления (книга в стадии обработки) Глудкин, О. П. Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС [Текст] : научное издание / О. П. Глудкин, А. Е. Густов. - М. : Радио и связь, 1981. - 112 с. : ил., табл. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера "Электроника"). - Библиогр.: с. 105. - 0.30 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы Кл.слова (ненормированные): ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ -- ДИСКРЕТНЫЙ МЕТОД -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- ИСТОЧНИКИ ПОГРЕШНОСТЕЙ -- ИСТОЧНИКИ ИЗЛУЧЕНИЯ -- ПРИЕМНИКИ ИЗЛУЧЕНИЯ Аннотация: Рассмотрены физические основы фотометрического метода контроля технологии производства интегральных схем (ИС), основные типы источников излучения и фотоприемников, применяемых в фотометрических схемах контроля. Приведены схемы измерения толщины и скор ости осаждения тонких пленок. Проанализирована точность фотометрического метода контроля. Приведены схемы измерения толщины и скорости осаждения тонких пленок. Проанализирована точность фотометрического метода контроля процессов производства ИС и даны рекомендации по ее повышению. Предназначена для инженеров, занимающихся производством ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Густов, А. Е. |