Новые поступления (книга в стадии обработки) Корнилов, Р. В. Расчет комплексов оборудования микроэлектроники [Текст] : научное издание / Р. В. Корнилов, В. Л. Сандеров. - М. : Энергия, 1979. - 104 с. : ил. ; 21 см. - 0.30 р.
Рубрики: Электроника--МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Аннотация: Обосновывается целесообразность создания комплексов, приводятся технология и характеристики оборудования, дается классификация развития комплексов в автоматизированные поточные линии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Сандеров, В. Л. |