Новые поступления (книга в стадии обработки) Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы [Текст] : в 2 ч. пер. с англ. / У. Моро ; под ред. Р. Х. Тимерова. - М. : Мир, 1990 - . Ч. 2. - 1990. - 632 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001717-8 : 50.00 р.
Рубрики: Электроника--МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- экспонированные резистные структуры -- безрезистная технология Аннотация: Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Тимеров, Р. Х. \\ред.\\ |