Новые поступления (книга в стадии обработки) Моро, У. Микролитография. Принципы, методы. материалы [Текст] : в 2ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . Ч. 1. - 1990. - 605 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 595-602 (266 назв.). - ISBN 5-03-001716-X : 60.00 р.
Рубрики: Электроника--МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- полупроводниковая технология -- ФОТОРЕЗИСТЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ Аннотация: Рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |