Новые поступления (книга в стадии обработки) Пилипенко, В. А. Быстрые термообработки в технологии СБИС [Текст] : монография / В. А. Пилипенко. - Минск : Изд. центр БГУ, 2004. - 531 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 525-527 (30 назв.). - ISBN 985-476-251-3 : 80.00 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника--Интегральные микросхемы Кл.слова (ненормированные): электроника -- микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- технология СБИС -- быстрые термообработки -- нагрев пластин -- лазерное геттерирование -- ионнолегирированные слои -- эпитаксиальные пленки -- диэлектрические пленки -- планаризация -- дисилицид титана -- кремниевые структуры Аннотация: Рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |