Новые поступления (книга в стадии обработки) Ивановский, Г. Ф. Ионно-плазменная обработка материалов [Текст] / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. - Москва : Радио и связь, 1986. - 232 с. : ил. - 1.20 р. Рубрики: Техника--Обработка материалов Кл.слова (ненормированные): ионно-плазменная обработка -- обработка материалов -- плазма Аннотация: Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки. Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Петров, В. И. |