Новые поступления (книга в стадии обработки) Тепло- и массообмен в технологии и эксплуатации электронных и микроэлектронных систем [Текст] : материалы междунар. школы-семинара / Ин-т тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова (Минск); ред. С. К. Погребня. - Минск : ИТИМО, 1990 - . Ч. 2. - 1990. - 140 с. : ил. ; 20см. - 1.40 р.
Рубрики: Связь--Электронные системы--Микроэлектронные системы Кл.слова (ненормированные): связь -- электронные системы -- микроэлектронные системы -- теплообмен -- массообмен -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- ионная имплантация -- газофазное осаждение -- термообработка -- терморегуляция -- измерительная информация -- тепломассоперенов Аннотация: Рассматриваются процессы молекулярно-лучевой эпитаксии, ионной имплантации, газофазного осаждения, термообработки и терморегуляции, алгоритмы обработки измерительной информации. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Погребня, С. К. \\ред.\\ |