Новые поступления (книга в стадии обработки) Чистяков, Ю. Д. Физико-химические основы технологии микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие для вузов / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М. : Металлургия, 1979. - 408 с. : ил. ; 20см. - 1.10 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): эпитаксия -- автоэпитаксия -- полирование -- легирование -- процессы разрушения (физ. хим.) -- травление -- сварка -- спайка Аннотация: Пособие предназначено для студентов вузов, изучающих технологию микроэлектроники, а также конструирование и технологию радиотехнических микроэлектронных устройств. Изложены физико- химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Райнова, Ю. П. |