Новые поступления (книга в стадии обработки) Булкин, А. Д. Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов / А. Д. Булкин, Н. И. Якивчик. - М. : Энергоатомиздат, 1984. - 256 с. : ил. ; 20см. - 0.65 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): силовые полупроводниковые приборы -- химическая обработка -- механическая обработка полупроводников -- термическая обработка -- фотолитографическая обработка -- полупроводниковые материалы -- герметизация -- техника безопасности -- фотолитография Аннотация: Изложена технология производства силовых полупроводниковых приборов. Описаны технологические операции и оборудование процессов механической, химической, термической, фотолитографической обработки полупроводниковых материалов, сборки узлов и герметизации приборов. Рассмотрены требования техники безопасности, полупроводниковой гигиены и межоперационный контроль. Для студентов вузов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Якивчик, Н. И. |