Новые поступления (книга в стадии обработки) Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. пособие / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - М. : Высшая школа, 1979. - 272 с. : ил. ; 20 см. - (Профтехобразование. Радиоэлектроника). - 0.60 р. Гриф: одобрено Учен. советом Госкомитета СССР по проф.-техн. образованию в качестве учеб. пособия для ТУ
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): химические материалы -- органические растворители -- отмывка полупроводников -- полупроводники -- травление -- фотолитография Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Романов, А. С. |