Новые поступления (книга в стадии обработки) Николаев, И. М. Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов [Текст] : учебник для техникумов / И. М. Николаев. - М. : Высшая школа, 1977. - 270 с. : ил. ; 20см. - 0.80 р. Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учебника для уч-ся техникумов по спец. "Оборудование пр-ва полупроводниковых приборов"
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- контрольно-измерительная аппаратура -- электрофизическое оборудование -- герметизация -- очистка Аннотация: Дана общая характеристика оборудования для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем;описывается оборудование:для очистки и контроля газов и воды,контроля параметров полупроводниковых материалов,для механической обработки полупроводниковых материалов и сортировки кристаллов.Рассмотрены линии для производства полупроводниковых приборов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |