Новые поступления (книга в стадии обработки) Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] / под ред.: Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ. : Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина. - М. : Мир, 1987. - 469 с. : ил. ; 22см. - Библиогр.: с. 461. - 3.40,38.00 р. Пред.-имен. указ. с.: 463
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): диффузионный барьер -- силициды -- металлизация затвора -- травление -- параметры -- интегральные микросхемы -- СБИС -- осаждение -- литография -- ионно-плазменные методы -- флюоресценция -- излучение -- лазер -- масс-спектрометрия -- механизм травления -- оптическая литография Аннотация: Рассмотрены вопросы физики,химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения,литографии и травления с применением ионно-плазменных методов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Айнспрук, Н. Браун, Д. Золотарев, Ю. М. Юдин, В. В. |