Новые поступления (книга в стадии обработки) Миколайчук, А. Г. Физико-технологические основы синтеза полупроводниковых пленок [Текст] : учеб. пособие / А. Г. Миколайчук, Д. М. Френк, В. М. Шперун. - Львов : ЛГУ, 1978. - 112 с. : ил. ; 20см. - 0.20 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые пленки Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- пленки -- эпитаксия Аннотация: Изложены основы получения и синтеза полупроводниковых пленок халькогенидов металлов IY B подгруппы, а именно синтез пленок в "открытом" вакууме, осаждение из равновесного пара в квазизамкнутом объеме. Особое внимание уделено физико-технологическим основам техники синтеза, определяющим структурное совершенство и электрофизические параметры пленок. Для студентов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Френк, Д. М. Шперун, В. М. |