Новые поступления (книга в стадии обработки) Колешко, В. М. Массоперенос в тонких пленках [Текст] / В. М. Колешко. - Минск : Наука и техника, 1980. - 296 с. : ил. ; 21см. - Библиогр.: (527 назв.). - 1.10 р.
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): физика -- свойства молекулярных систем -- структура молекулярных систем -- пленки -- тонкие пленки -- массоперенос -- тонкопленочные элементы -- межсоединения -- резисторы -- тонкопленочные контакты -- золото -- алюминий -- хром -- молибден -- диффузия -- электродиффузия -- стимулированный массоперенос -- тонкопленочные проводники Аннотация: Обобщен и систематизирован материал по стимулированному массопереносу в тонкопленочных проводниках полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Вскрывается сущность физических процессов, лежащих в основе этого явления. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |