Новые поступления (книга в стадии обработки) Углов, А. А. Адгезионная способность пленок [Текст] / А. А. Углов, Л. М. Анищенко, С. Е. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1987. - 104 с. : ил. ; 22см. - (Б-ка конструктора-технолога радиоэлектронной аппаратуры). - 0.40 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): адгезионная способность пленок -- измерение адгезии -- метод скрайбирования -- метод отслаивания -- ионно-плазменная обработка подложек -- очистка подложек нагревом Аннотация: Рассматривается адгезионная способность пленок, физико-механическое и физико-химическое взаимодействие на границе пленка-подложка, виды границ между пленкой и подложкой. Приводятся методы измерения адгезионной прочности: нормального отрыва, скрайбирования, отслаивания и др. Описываются технологии нанесения пленок: термическое испарение в вакууме, катодное и магнитное распыление, ионно-плазменный метод, лазерное и электронно-лучевое напыление. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Анищенко, Л. М. Кузнецов, С. Е. |