Новые поступления (книга в стадии обработки) МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов [Текст] : научное издание / под ред. П. Антонетти [и др.] ; пер. с англ.: В. Л. Кустова, В. М. Петрова, О. В. Селляховой. - М. : Радио и связь, 1988. - 496 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-256-00130-2 : 4.10 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): технология БИС и СБИС -- диффузия в кремнии -- ионная имплантация -- оптическая литография -- моделирование топографии Аннотация: Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем и электрических характеристик их основных элементов-МОП-транзисторов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Антонетти, П. Антониадис, Д. Даттон, Р. Оулдхем, У. Кустов, В. Л. Петров, В. М. Селляхова, О. В. |