Новые поступления (книга в стадии обработки) Оборудование ионной имплантации [Текст] / Л. А. Корнилов [и др.]. - М. : Радио и связь, 1988. - 184 с. : ил. ; 22 см. - ISBN 5-256-00007-1 : 0.70 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): ионные двигатели -- ионная имплантация -- системы сканирования -- вакуумная откачка -- послеимплантационные методы измерения Аннотация: Систематизированы сведения о свойствах, параметрах и устройствах современного оборудования ионной имплантации. Изложены принципы автоматизации оборудования. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Корнилов, Л. А. Шашелев, А. В. Шокин, Е. В. Симонов, В. В. |