Новые поступления (книга в стадии обработки) Котельников, Д. И. Сюрпризы плазмы [Текст] / Д. И. Котельников. - Киев : Тэхника, 1990. - 158 с. ; 24см. - ISBN 5-335-00366-9 : 1.40 р.
Рубрики: Физика--Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): источники света -- лазер -- имплантация -- плазма -- полупроводники -- ионы Аннотация: Рассказывается о газоразрядной плазме,ее свойствах и применении в науке.Основное внимание уделено плазме тлеющего разряда, используемой в ионной имплантации полупроводников. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |