Новые поступления (книга в стадии обработки) Быстров, Ю. А. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] / Ю.А.Быстров,Е.А.Колгин,Б.Н.Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : ил. ; 22см. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): электроника -- фотоэлектрические методы -- телевизионные методы -- рентгенотелевизионные методы -- дифракционные методы -- контроль фаски Аннотация: Рассматриваются различные методы и средства измерения линейных размеров,толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем с позиций их применимости для неразрушающего и оперативного контроля в процессе производства. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Колгин, Е. А. Котлецов, Б. Н. |