Новые поступления (книга в стадии обработки) Грищенко, А. Ф. Ионное легирование в микроэлектронике [Текст] : учеб. пособие для средн. проф.-техн. училищ / А. Ф. Грищенко. - М. : Высшая школа, 1985. - 48 с. : ил. ; 20см. - 0.05 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые материалы--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): электроника -- полупроводники -- полупроводниковые материалы -- микроэлектроника -- ионное легирование -- технологический процесс -- электрические характеристики Аннотация: В учебном пособии изложены начальные сведения по физике ионного легирования полупроводниковых материалов. Описаны некоторые технологические процессы ионного легирования, а также основное типовое оборудование, применяемое в этих процессах. Рассмотрены вопросы безопасности при работе на установках ионного легирования. Брошюра предназначена для преподавателей и мастеров производственного обучения средних профессионально-технических училищ. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |