Новые поступления (книга в стадии обработки) Готра, З. Ю. Технология микроэлектронных устройств [Текст] : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил. ; 23см. - 4.00,60.00 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектронная аппаратура Кл.слова (ненормированные): монокристаллические материалы -- полупроводниковые материалы -- диффузия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- микроэлектронные устройства Аннотация: Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких плёнок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надёжности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |