Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : в 10 кн. : учебник / В. Е. Минайчев. - М. : Высшая школа, 1989 - . Кн. 6 : Нанесение пленок в вакууме. - 1989. - 110 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5060003086 : 0.15 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника Обработка материалов--Нанесение покрытий Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- полупроводниковая схемотехника -- полупроводниковая электроника -- полупроводниковые генераторы -- полупроводниковые диоды -- полупроводниковые запоминающие устройства -- полупроводниковые изделия -- полупроводниковые интегральные схемы -- полупроводниковые конденсаторы -- полупроводниковые лазеры -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые приборы -- полупроводниковые соединения -- полупроводниковые стабилитроны Аннотация: В книге рассмотрены особенности применения и методы нанесения тонких пленок при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Описаны принципы действия современных технологических вакуумных установок с термическими испарительными и ионными распылительными системами. Приведены сведения по их эксплуатации, вакуумной технике, электронно-вакуумной гигиене и технике безопасности. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Минайчев, В. Е. |