Новые поступления (книга в стадии обработки) Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебник / О. К. Мокеев. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил. ; 20см. - ISBN 4 : 0.60 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы--Микроминиатюрные полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): фильтры -- фильтрация -- эмульсия -- адсорбция газов -- фотолитография -- ионное травление -- фотошаблоны Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитогрфии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства их контроля, оборудование. Во втором издании (1-е - в 1979 г.) описаны сухое травление рабочих материалов, а также методы электронно- и рентгенолитографии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |