Новые поступления (книга в стадии обработки) Моряков, О. С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : учебник / О. С. Моряков. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1981. - 336 с. : ил. ; 22см. - 0.80 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы--Технология производства Кл.слова (ненормированные): оптические устройства -- полупроводники -- полупроводниковая схемотехника -- полупроводниковая электроника -- полупроводниковые генераторы -- полупроводниковые диоды -- полупроводниковые запоминающие устройства -- полупроводниковые изделия -- полупроводниковые интегральные схемы -- полупроводниковые конденсаторы -- полупроводниковые лазеры -- полупроводниковые приборы -- полупроводниковые резисторы Аннотация: В книге приведены основные сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов, описаны устройство, принцип действия, правила эксплуатации и наладки технологического оборудования, а также даны его технические характеристики. Третье издание переработано и дополнено описанием нового оборудования, предназначенного для обработки полупроводниковых материалов, сплавления, диффузии, элионной технологии, фотолитографии, осаждения пленок, изготовления корпусов, сборки, герметизации, климатических и механических испытаний. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |