Новые поступления (книга в стадии обработки) Мокеев, О. К. Технология полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие / О. К. Мокеев. - М. : Высшая школа, 1984. - 176 с. : ил. ; 20см. - 0.20 р.
Рубрики: Электроника--Технология производства Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- полупроводниковая схемотехника -- полупроводниковая электроника -- полупроводниковые генераторы -- полупроводниковые диоды -- полупроводниковые материалы -- механическая обработка полупроводников -- химическая обработка полупроводников -- ионная обработка полупроводников -- плазмохимическая обработка полупроводников -- эпитаксиальные пленки -- эпитаксия -- легирование -- ионное легирование Аннотация: В книге описаны основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и микросхем. Рассмотрены процессы изготовления биполярного и МДП-транзисторов, а также интегральных микросхем на их основе. Пособие является программированным и содержит материал обеспечивающий самоконтроль усвоения информации и исправление ошибок, возникающих в процессе работы учащихся. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |