Новые поступления (книга в стадии обработки) Ефимов, И. Е. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность [Текст] : учеб. пособие для вузов / И. Е. Ефимов, Ю. И. Горбунов, И. Я. Козырь. - М. : Высшая школа, 1977. - 416 с. : ил. ; 22см. - 1.30 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): эффект Ганна -- фотолитография -- локальная диффузия -- ионное легирование -- металлизация -- изготовление ИМС -- контроль качества -- надежность -- испытание ИМС -- полупроводниковые диоды -- полевые транзисторы -- тиристоры Аннотация: В книге изложены физические и технологические основы полупроводниковой и пленочной микроэлектроники, основы работы активных элементов в ИМС; рассмотрены конструктивно-технологические особенности, материалы и элементы конструкции ИМС, их структурные элементы, процессы изготовления ИМС, контроль качества ИМС при изготовлении, испытания микросхем. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Горбунов, Ю. И. Козырь, И. Я. |