Новые поступления (книга в стадии обработки) Комаров, Ф. Ф. Ионная имплантация [Текст] : научное издание / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, А. Ф. Буренков ; под ред. Ф. Ф. Комарова. - Минск : Унiверсiтэцкае, 1994. - 303 с. ; 20см. - ISBN 985-09-0036-9 : 3000.00 р.
Рубрики: Обработка материалов--Нанесение покрытий Кл.слова (ненормированные): легирование -- инплантация -- ионная имплантация -- ионно-лучевое легирование -- инплантация атомов -- ионное перемешивание -- кинетические уравнения Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Новиков, А. П. Буренков, А. Ф. Комаров, Ф. Ф. |