Новые поступления (книга в стадии обработки)         Вакуумно-плазменные процессы и технологии [Текст] : Учебно-методическое пособие / В. В. Рыбкин. - Иваново : Ивановский государственный химико-технологический университет, 2006. - 260 с. - Б. ц. Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники Кл.слова (ненормированные): химия Аннотация: Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях. Доп. точки доступа: Рыбкин, В.В.