Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 802761 Автор(ы) : Александров, Сергей Евгеньевич, Греков, Федор Федорович Заглавие : Технология полупроводниковых материалов : учеб. пособие . -2-е изд., испр. Выходные данные : Санкт-Петербург; Москва; Краснодар: Лань, 2012 Колич.характеристики :240 с.: ил. Серия: Учебник для вузов. Специальная литература Примечания : Библиогр.: с. 227 (3 назв.) ISBN (в пер.), Цена 978-5-8114-1290-7: 460.02 р. УДК : 621.315.592(075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые материалы--технология --глубокая очистка веществ--синтез--монокристаллы Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1) Доп. точки доступа: Греков, Федор Федорович |