Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 858856 Автор(ы) : Кузнецова, Мария Александровна Заглавие : Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 Выходные данные : Санкт-Петербург: [б. и.], 2011 Колич.характеристики :17, [1] с.: ил. Коллективы : С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина) Примечания : Библиогр.: с. 16-17 (7 назв.). - Для служебного пользования ISBN, Цена [Б. и.] УДК : 621.38(043.3) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): автоэмиссионная электроника--автоэлектронная эмиссия--карбидокремниевые наноразмерные острия--многоострийные структуры--ионно-лучевое травление--ионноплазменное травление--технологические процессы (тп) Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1) Доп. точки доступа: Лучинин, В. В.