Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 703194 Заглавие : Техническая механика микросистем : учебное пособие . -2-е изд. Выходные данные : Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011 Колич.характеристики :174, [2] с.: рис., табл. Коллективы : Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) Примечания : Библиогр.: с. 173-174 (19 назв.). - Рекомендовано учеб.-метод. об-нием вузов РФ по образованию в обл. радиотехники, электроники, биомед. техники и автоматизации в качестве учеб. пособия для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" ISBN (в пер.), Цена 978-5-9963-0636-7: 220.00 р. УДК : 621.382(075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросистемы--микромеханические приборы--техническая механика--напряженно-деформированные состояния--демпфирование колебаний--электромеханика--датчики давления--микромеханические гироскопы--микроакселерометры Экземпляры :ОХФ-ЧЗ-4(1) Свободны : ОХФ-ЧЗ-4(1) Доп. точки доступа: Тимофеев, В. Н.