Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 891629 Автор(ы) : Хаханин, Сергей Юрьевич Заглавие : Научно-методические основы создания системы мониторинга безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.11.13 Выходные данные : Москва: [б. и.], 2011 Колич.характеристики :42, [3] с.: граф., рис. Коллективы : Федер. гос. учреждение Науч.-произв. комплекс "Технологический центр" МИЭТ, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) Примечания : Библиогр.: с. 37-42. - Для служеб. пользования ISBN, Цена [Б. и.] УДК : 621.382(043.3) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые структуры--безотходные технологии--микроэлектроника--очистка поверхности--мониторинг--контроль--рекуперация--технологические процессы (тп) Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1)