Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 891629
Автор(ы) : Хаханин, Сергей Юрьевич
Заглавие : Научно-методические основы создания системы мониторинга безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.11.13
Выходные данные : Москва: [б. и.], 2011
Колич.характеристики :42, [3] с.: граф., рис.
Коллективы : Федер. гос. учреждение Науч.-произв. комплекс "Технологический центр" МИЭТ, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Примечания : Библиогр.: с. 37-42. - Для служеб. пользования
ISBN, Цена [Б. и.]
УДК : 621.382(043.3)
Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые структуры--безотходные технологии--микроэлектроника--очистка поверхности--мониторинг--контроль--рекуперация--технологические процессы (тп)
Экземпляры :ОХФ(1)
Свободны : ОХФ(1)