Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 343413 Автор(ы) : Королёв, Михаил Александрович, Крупкина, Татьяна Юрьевна, Ревелева, Марина Алексеевна Заглавие : Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учеб. пособие : в 2 т./ под общ. ред. Ю. А. Чаплыгина. - (Электроника). Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование Выходные данные : Москва: БИНОМ. Лаб. знаний, 2010 Колич.характеристики :396, [4] с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 397 (14 назв.). - Рекомендовано Учеб.-метод. об-нием вузов РФ по образованию в обл. радиотехники, электроники, биомед. техники и автоматизации в качестве учеб. пособия для студентов вузов, обучающихся по специальности 210104 (200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" ISBN (в пер.), Цена 978-5-94774-336-4: 166.00 р. УДК : 621.382.049.77(075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--кремниевые интегральные микросхемы--полупроводниковые материалы--микроэлектронные схемы интегральные--интегральные схемы--диэлектрические пленки--математическое моделирование--технологические процессы (тп)--литография Экземпляры : всего : ОУОЕН(27), ОХФ(2), ОХФ-ЧЗ-4(1) Свободны : ОУОЕН(27), ОХФ(2), ОХФ-ЧЗ-4(1) Доп. точки доступа: Крупкина, Татьяна Юрьевна Ревелева, Марина Алексеевна (1936-2004) Чаплыгин, Ю. А. \\ред.\\