Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 962098 Автор(ы) : Константинова, Галина Серафимовна, Лозовский В. Н., Лунин Л. С., Лозовский С. В. Заглавие : Методы нанолитографии. Достижения и перспективы Выходные данные : Ростов-на-Дону: ТЕРРА-ПРИНТ, 2008 Колич.характеристики :112 с.: рис. Примечания : Библиогр.: с. 110-111 (52 назв.). - Предм. указ.: с. 109. - На обл. авт.: Константинова Г. С. и др. ISBN, Цена 978-5-903286-20-1: 90.00 р. УДК : 621.38-022.532 Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотехнологии--наноэлектроника--литография--нанолитография--интегральные микросхемы--нанометровый диапазон--импринт-литография--зондовая нанолитография Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1) Доп. точки доступа: Константинова, Галина Серафимовна Лозовский, В. Н. Лунин, Л. С. Лозовский, С. В. Лозовский, В. Н.