Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 400709 621.382-181/К 430 Автор(ы) : Киреев, Валерий Юрьевич, Столяров, Александр Александрович Заглавие : Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы Выходные данные : Москва: Техносфера, 2006 Колич.характеристики :190, [2] с.: табл. Серия: Мир электроники Примечания : Библиогр.: с. 188-190 (52 назв.) ISBN (в пер.), Цена 5-94836-039-3: 202.73 р. УДК : 621.382.049.77 Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--интегральные микросхемы--химическое осаждение из газовой фазы--пленки--технология Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1) Доп. точки доступа: Столяров, Александр Александрович