Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 937153 621.315.592.002621.315.61/Т 145 Автор(ы) : Таиров, Юрий Михайлович, Цветков, Валерий Фёдорович Заглавие : Технология полупроводниковых и диэлектрических приборов : учеб. для вузов . -3-е изд., стер. Выходные данные : Санкт-Петербург: Лань, 2002 Колич.характеристики :422, [2] с.: рис., табл. Серия: Учебники для вузов. Специальная литература Примечания : Библиогр.: с. 418 (21 назв.). - Предм. указ.: с. 419-421 ISBN (в пер.), Цена 5-8114-0438-7: 99.96, 141.24, р. УДК : 621.315.592.08(075.8) + 621.315.61(075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые материалы--диэлектрические материалы--электронная техника--технология--технологические процессы (тп) Экземпляры : всего : ОУОЕН(10), ОХФ(1) Свободны : ОУОЕН(10), ОХФ(1) Доп. точки доступа: Цветков, Валерий Фёдорович Цветков, Валерий Федорович