Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 697832 621.382-181/А 239 Автор(ы) : Агеев, Олег Алексеевич Заглавие : Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Таганрог: Изд-во Таганрог. гос. радиотехн. ун-та, 2005 Колич.характеристики :40 с.: рис., табл. Коллективы : Таганрог. гос. радиотехн. ун-т Примечания : Библиогр.: с. 35-39 (51 назв.) ISBN, Цена [Б. и.] УДК : 621.38.049.77(043.3) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): экстремальная электроника--импульсная термообработка--карбид кремния--технологические процессы (тп)--контактные явления Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1) Доп. точки доступа: Сеченов, Д. А.