Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 368955 621.382(075)+621.382-181(075)/О-66 Автор(ы) : Орлов А. М., Костишко Б. М., Скворцов А. А. Заглавие : Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учеб. пособие для студентов и инж.-техн. работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников Выходные данные : Ульяновск: Изд. Ульян. ун-та, 2001 Колич.характеристики :369, [7] с.: ил. Примечания : Библиогр. ISBN (в пер.), Цена 5-88866-081-7: 137.60 р. УДК : [621.382+621.3.049.77](075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые приборы--интегральные микросхемы--литография--тонкие пленки--эпитаксия--диффузия--рост кристаллов--контроль качества--технология Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1) Доп. точки доступа: Костишко, Б. М. Скворцов, А. А.