Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 028042 621.793/С95 Автор(ы) : Сыркин, Виталий Григорьевич Заглавие : CVD-метод: Химическое парофазное осаждение Выходные данные : Москва: Наука, 2000 Колич.характеристики :495, [1] с.: ил. Примечания : Библиогр. ISBN (в пер.), Цена 5-02-001683-7: 588.00 р. УДК : 621.793.3:669.056.9 Предметные рубрики: техника-- металлообработка Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): металлизация--осаждение химическое парофазное--cvd-метод--металлические материалы--неразрушающий контроль--металлические покрытия--вискеры--кристаллизация Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1)